盛美半导体设备（上海）有限公司盛美半导体设备(上海)
机构简介
基本信息
盛美半导体设备（上海）有限公司，研发实验室主要分析仪器为FEI helios Nanolab 660. 先进的DoubleBeam可用于纳米尺度超高分辨率成像、分析和制造。 创新的ElstarTM电子镜筒构成Helios NanoLab高分辨率成像的基础。可实现高热量稳定性的恒定功率透镜、可实现更高探测线性和速度的静电扫描以及可实现各种条件下的超清晰成像。改进的穿透透镜探测器（TLD）
