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MEMS晶圆测试

  • 询价
  • 所在地
    上海市嘉定区
检测能力
  • MEMS性能参数标定 | MEMS Calibration 31800
    能力名称:MEMS性能参数标定 | MEMS Calibration 31800
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:MEMS性能参数标定 | MEMS Calibration 31800
    计量单位:颗 | Pcs
  • 加速度计晶圆测试 | Accelerometer Wafer Testing
    能力名称:加速度计晶圆测试 | Accelerometer Wafer Testing
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:加速度计晶圆测试 | Accelerometer Wafer Testing
    计量单位:小时 | h
  • 陀螺仪晶圆测试 | Gyroscope Wafer Probe
    能力名称:陀螺仪晶圆测试 | Gyroscope Wafer Probe
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:陀螺仪晶圆测试 | Gyroscope Wafer Probe
    计量单位:小时 | hour
  • 压力传感器晶圆测试 | Pressure Sensor Wafer Probe
    能力名称:压力传感器晶圆测试 | Pressure Sensor Wafer Probe
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:压力传感器晶圆测试 | Pressure Sensor Wafer Probe
    计量单位:小时 | h
  • 磁传感器晶圆测试 | Magnetic Sensor Wafer Probe
    能力名称:磁传感器晶圆测试 | Magnetic Sensor Wafer Probe
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:磁传感器晶圆测试 | Magnetic Sensor Wafer Probe
    计量单位:小时 | hour
  • MEMS晶圆测试工程费用 | MEMS Wafer Probe NRE
    能力名称:MEMS晶圆测试工程费用 | MEMS Wafer Probe NRE
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:MEMS晶圆测试工程费用 | MEMS Wafer Probe NRE
    计量单位:层 | Layer
  • MEMS晶圆打点 | MEMS Wafer Dotting
    能力名称:MEMS晶圆打点 | MEMS Wafer Dotting
    一级类别:晶圆测试 | Wafer Testing
    二级类别:MEMS晶圆测试 | Wafer Probe
    标准名称/编号:/
    限制说明:MEMS晶圆打点 | MEMS Wafer Dotting
    计量单位:层 | Layer
服务周期
  • 1 天
  • 服务周期以订单生效且样品收到后第2个工作日起算
报告类型
  • 普通报告
  • 认可报告
报告形式
  • 电子版
  • 纸质版
报告语言
  • 中文版
报告资质
  • CNAS
  • CMA
工程服务平台 | SITRI | 上海微技术工业研究院
  • 适用范围

    MEMS晶圆测试服务

  • 服务简介

    上海工研院提供MEMS晶圆测试服务


    可测试的器件类型有:加速度计、陀螺仪、硅麦克风和压力传感器等


    可测试的参数包括:


    漏电流

    电容

    其它静态参数

    谐振频率

    品质因素

    阻尼系数

    正交误差

    其它动态参数


    主要设备: STI3000全自动探针台

    设备介绍:

    通过STI3000全自动探针台,提供晶圆的接触测试、功耗测试、输入漏电测试、输出电

    平测试、全面的功能测试、全面的动态参数测试以及模拟信号的参数测试等。

    STI3000晶圆探针台的主要特征参数:

    Wafer Size Range: 75mm - 150mm

    Cassette to Cassette

    Temperature Control Chuck optional

    Automatic Alignment

    OCR Camera

    Dimensions: 53" x 32" x 56"

    Weight: 770 lbs


  • 样品要求

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